質量流量控制器MFC

質量流量控制器MFCT 系列 MFC

采用熱式傳感器 + 低熱電磁閥 + 壓力傳感技術滿足主流測量精度 ≤±1.0% S.P. (25% - 100% F.S.)重復性對標行業產品 ( ≤±0.2% F.S. )。

工作原理

• 熱式測量原理：利用兩個溫度傳感器，一個測量氣體的初始溫度，另一個測量被加熱后的氣體溫度，通過計算溫差，并結合氣體的比熱容，精確計算出氣體的質量流量，無需對壓力和溫度的變化進行補償，提高了測量精度1。

• 壓差式測量原理：由壓差式流量傳感器實時測量氣體流經流過節流元件時產生的壓差來計算氣體的體積流量，控制閥根據流量傳感器的測量與反饋，精確調整開度，以確保通過 MFC 的氣體流量與預設值相匹配2。

產品特點

• 高精度測量：采用先進的傳感器技術和制造工藝，能夠實現高精度的氣體流量測量和控制，測量誤差可低至 ±0.5% 讀數，重復性達到 ±0.1%，滿足半導體等gaoduan領域對納米級流量波動的嚴苛要求3。

• 快速響應：配備 PID 控制器和高速電磁閥，這些組件能夠在毫秒級的時間內對流量的偏差進行修正，響應時間通常小于 100ms，可及時應對各種動態變化，確保流量的穩定1。

• 寬量程范圍：量程覆蓋范圍廣，從微小流量到高流速場景均可適用，例如可以覆蓋 0.1sccm 至 20000slpm 的范圍，滿足不同應用場景的需求3。

• 多氣體兼容：支持多種氣體的精確測量和控制，如 N?、Ar、H?、SiH?、NH?、CF?等常見氣體，可通過多氣體校準技術，確保在不同氣體測量時都能保持高精度14。

• 良好的穩定性：關鍵部件如傳感器和加熱元件通常采用恒溫控制技術，減少溫度漂移對測量精度的影響。同時，采用激光焊接工藝來制造流道，有效避免泄漏現象的發生，從而保證測量結果的準確性和長期穩定性1。

• 多種通訊接口：配備 RS485、Profibus 等通訊接口，支持觸摸屏實時顯示溫度、壓力、標況 / 工況流量等參數，方便用戶進行遠程操作和監控，可與各種自動化控制系統集成3。

應用領域4

• 半導體與電子制造：在晶圓加工、薄膜沉積（CVD/PVD）和刻蝕（Etching）等工藝中，精確控制反應氣體的流量，確保工藝穩定性和芯片性能。

• 化工與制藥行業：用于化學反應過程中控制反應器中氣體的流量，如 O?、CO?等，優化反應速率和產物質量。

• 新能源與燃料電池生產：調節氫氣和氧氣的輸入流量，優化電化學反應效率和電池輸出功率，同時也可用于控制電解過程中氧氣和氫氣的分離與流量，以及管理 CO?捕獲和壓縮過程中的氣體流量。

• 環境監測與實驗室：為氣相色譜儀（GC）、質譜儀（MS）等設備提供標準氣體流量，也可用于精確控制環境監測設備的氣體采樣流量，如 PM2.5、VOCs 檢測等。